在電視上，我們經(jīng)常會(huì)看到這樣的場景。醫(yī)藥、電子、精密機(jī)械、彩管制造、微生物等行業(yè)都對(duì)生產(chǎn)車間的空氣潔凈度有著很高的要求，準(zhǔn)確測量并控制空氣中的塵埃顆粒數(shù)直接關(guān)系到生產(chǎn)出的產(chǎn)品質(zhì)量。 記者近日從中國計(jì)量科學(xué)研究院（以下簡稱中國計(jì)量院）獲悉，該院研究建立的潔凈空氣中顆粒計(jì)數(shù)計(jì)量校準(zhǔn)裝置提高了我國在粒子計(jì)數(shù)的測量水平，解決了此領(lǐng)域長期依賴國外進(jìn)口儀器的現(xiàn)狀，提高了我國粒子計(jì)器的生產(chǎn)能力和競爭力。 項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中國計(jì)量院化學(xué)所程惠玲介紹，空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來源，準(zhǔn)確評(píng)價(jià)空氣潔凈度已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品檢測的要求。如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積就會(huì)造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經(jīng)達(dá)到微米和亞微米級(jí)，這就對(duì)廠房內(nèi)的空氣潔凈度提出了更高的要求。另外，在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)與藥物及生物工程中，包括我國在內(nèi)的世界各國制定實(shí)施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范GMP”中也著重對(duì)藥品生產(chǎn)過程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行，作為16個(gè)重大發(fā)展專項(xiàng)的核心電子器件、通用芯片、重大新藥創(chuàng)制將會(huì)得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計(jì)數(shù)測量和監(jiān)測變得更加迫切。 塵埃粒子計(jì)數(shù)器就是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應(yīng)用于為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機(jī)構(gòu)，以及生物、制藥、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工等生產(chǎn)企業(yè)。 “據(jù)估計(jì)，我國現(xiàn)有的塵埃粒子計(jì)數(shù)器生產(chǎn)廠家有10余家，國內(nèi)使用的臺(tái)件數(shù)量應(yīng)不少于3萬臺(tái)，這些廠家及用戶具有很強(qiáng)烈的校準(zhǔn)檢測需求。”程惠玲說，要保證空氣中塵埃顆粒測量的準(zhǔn)確性，首先需要確保塵埃粒子計(jì)數(shù)器本身的準(zhǔn)確和可溯源。中國計(jì)量院完成的這項(xiàng)研究，建立了標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)了對(duì)標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)示值誤差、粒徑檔設(shè)定相對(duì)誤差、粒徑測量分辨力校準(zhǔn)項(xiàng)目的檢定和校準(zhǔn)，不確定度為6.0%（k=2），優(yōu)于國外相同計(jì)量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)水平。同時(shí)，他們還建立了工作級(jí)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)工作級(jí)（實(shí)驗(yàn)室用、便攜式）粒子計(jì)數(shù)器粒子計(jì)數(shù)示值誤差的有效校準(zhǔn)。 “在研究中，我們通過采用較先進(jìn)的‘激光粒子計(jì)數(shù)器——凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器——氣溶膠靜電計(jì)（或掃描電子顯微鏡）’逐級(jí)溯源法，使標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)值溯源至國家電流標(biāo)準(zhǔn)和傳統(tǒng)的顯微計(jì)數(shù)法，保證了粒子計(jì)數(shù)的溯源性和準(zhǔn)確性。”程惠玲認(rèn)為這是該項(xiàng)目的一大創(chuàng)新點(diǎn)。 程惠玲介紹，通過該項(xiàng)目的實(shí)施，建立了我國塵埃粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)量校準(zhǔn)裝置和溯源方法。建立的校準(zhǔn)裝置*我國塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)物計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的空白，為我國塵埃粒子計(jì)數(shù)器的量值溯源和傳遞提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)和保障，有力推進(jìn)了我國《塵埃粒子計(jì)數(shù)器》國家校準(zhǔn)規(guī)范及《塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能試驗(yàn)方法》的有效實(shí)施。 目前，通過向各省級(jí)計(jì)量院所、儀器生產(chǎn)企業(yè)等單位的宣傳推廣，以及向用戶開展校準(zhǔn)檢測服務(wù)，一些單位已經(jīng)開始以該標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置為基礎(chǔ)建立了本單位的工作級(jí)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置。程惠玲相信，這一研究成果將使我國粒子計(jì)數(shù)測量水平和對(duì)國家發(fā)展的支撐能力躍上一個(gè)新臺(tái)階?！吨袊|(zhì)量報(bào)》 |
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